计量
三维台阶高度
为表面上两个区域所定义的两个平面提供高度差。第一个区域被定义为参考区域，软件将调整此区域中的最小二乘平面。然后据此测量第二个平面。同时测量的还有平均台阶高度、最大高度和最小高度以及角度差。
二维台阶高度
为蚀刻线或矩形区域之类的简单几何形状提供台阶高度测量方法。在边缘暴露的情况下，二维台阶高度还可以用于测量厚度。
ISO 5436-1 台阶高度
在尝试对不同测量仪器所做的台阶高度测量进行比较时，按照标准测量方法进行测量非常重要。ISO 5436-1提供了国际公认的台阶高度测量方法。上述仪器均支持此标准。